Merit Sensor Systems 製

シリコンMEMS圧力センサ
 

独自技術（Sentium TechnologyTM）により、高機能で安定した特性を広い温度範囲で実現します
 

▋Merit Sensor 製品の特長
－４０～＋１５０℃で高機能を提供するＭＥＭＳ圧力センサ. ０.０２ＫＰａ～７０ＭＰａまでカバーするセンサチップ、温度非補償アセンブル品からＩ２Ｃ出力の完全(アクティブ)補償モジュールまでを揃えています. 一般産業機器、自動車機器、医療機器向けで実績があります。

ファインセンシング(株)はMerit Sensor Systemsの正規代理店です. お問合せはこちらまで.

▋製品ラインアップ - 2026年2月２４日 更新
製品名 圧力感度レンジ [psi/ (kPa) ] サイズ 備　考
センサチップ  Ｌ シリーズ 0.15～1 psi (1～6.9 kPa)  3.28x3.28 mm 微圧用
J シリーズ 1～500 psi (6.9～3447 kPa) 1.95x1. 95mm 低圧用
7000 シリーズ 15～10000 psi (103～68948 kPa) 2,2x1.6 mm 中高圧用
S シリーズ 5～300 psi  (34.5～2068 kPa)  1.5x1.5 mm  高精度安定
HM シリーズ 15～500 psi (103～3447 kPa) 2.08x2.08 mm 過酷な流体用
アクティブ補償
センサパッケージ    		 LP2 シリーズ  0.02～1 psi (0.15～6.89 kPa) 10.2x10.2 mm 微圧用 
LP-Anagolg シリーズ 0.04～15 psi (0.15～6.89 kPa) 10.2x13.3 mm  
LP-Digital シリーズ 0.04～15 psi (0.25～103 kPa) 10.2x13.3 mm 超低圧用-デジタル出力
HTS シリーズ 1～100 psi (6.89～689 kPa)  10.5x13.2 mm 低圧用
CMS シリーズ 2～150 psi (13.8～1034 kPa) 6.8x6.8 mm 低圧用
TVC シリーズ 1～300 psi (6.89～2068 kPa) 10.4x13.8 mm 中高圧-過酷な媒体用
TRVF シリーズ 1～300 psi (6.89～2068 kPa) 10.3x12.9 mm 中高圧-過酷な媒体用
TR シリーズ 15～500 psi (103～3447 kPa) 10.2x12.7 mm 中高圧-過酷な媒体用
パッシブ補償型
センサパッケージ		 BP シリーズ -30～300 mmHg --- 10.1x7.3 mm 医療機器用
BP圧力拡張シリーズ -500～1000 mmHg --- 10.1x7.3 mm 医療機器用
BP-T シリーズ -500～1000 mmHg --- 10.2x7.3 mm 医療機器用
AP シリーズ 0～1000 psi (0～6895 kPa) 12.5x14.7 mm 医療機器用
非補償型
センサパッケージ		 LP シリーズ 0.15～1 psi (1.03～6.89 kPa) 10.2x13.3 mm 超低圧用
RPD シリーズ >0～500 psi (0～3447 kPa) 6.4x6.4 mm
MS シリーズ 0～500 psi (0～3447kPa) 6.4x6.4 mm 微/中圧用、表面実装
SMD シリーズ 5～500 psi (34.5～3,447 kPa) 7.6x7.6 mm
RS シリーズ 0～500 psi (0～3,447kPa) 9.0x7.7 mm
PMD シリーズ 5～50 psi (34.5～414 kPa) 8.1x7.6 mm 微圧用、スルーホール
RSH シリーズ 5～500 psi (0～3,447kPa) 9.0x7.7 mm 中高圧 - 過酷な媒体用
トランスデューサ MSS100 250～1000 mmHg (34.5～689.5 kPa) --- メディカル用
TR評価キット MeriTREK TRシリーズ用 絶対圧 / ゲージ圧 詳細仕様ダウンロード
miniPEK LP / HTS 用 Ｉ２Ｃインターフェース 詳細仕様ダウンロード
miniPEK2 LP2 / CMS 用 Ｉ２Ｃインターフェース 詳細仕様ダウンロード


▋ＭＥＭＳ圧力センサチップ

▍微圧

 Ｌシリーズ
圧力レンジ：   0.15～1 psi / 1～6.89 kPa
チップ種別：   ゲージ圧 
チップサイズ：   3.28x3.28 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.25( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性：  ゼロポイント ±20 (μV/V/℃)) @-25～75℃
抵抗値 2000(min)～3000(max) (ppm/℃) @-25～75℃
感度(0.15psi) -2500(min)～-3500(max) (ppm/℃) @-25～75℃
感度(0.2～1psi) -2000(min)～-3000(max) (ppm/℃) @-25～75℃
長期安定性： ±0.25 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ
ブリッジタイプ Open / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様： カタログダウンロード

▍低圧

 Jシリーズ
圧力レンジ：   1～500 psi / 7～3447 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧 
チップサイズ：   1,95x1.95 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2 (%FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス：    <0.2 (%FSO) @無負荷, 25～125℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2500(min)～3500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
長期安定性： <0.2 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様： カタログダウンロード

▍中高圧

 7000 シリーズ



圧力センサチップ：7000シリーズ
圧力レンジ：   15～10000 psi / 103～68967 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧 
チップサイズ：   2.2x1.6 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： <0.2 (%FSO) @無負荷 @25～125℃
長期安定性： <0.2 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍高精度安定

 Sシリーズ
圧力レンジ：   1,000～10,000 psi / 6,895～68,948 kPa
チップ種別：   絶対圧のみ 
チップサイズ：   1.9x1.6 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.05 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス：    ±0.1 (%FSO) @無負荷時 
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3200(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.1 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍過酷な流体向け

 HM シリーズ



圧力センサチップ：HMシリーズ
圧力レンジ：   15～500 psi / 103～3447 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧
チップサイズ：   2.08x2.08 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性： ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
検出対象： 経由、ガソリンなどガラスとシリコンに無害な活性流体
仕様オプション   温度センサ 温度センサ搭載可能
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Closed のみ
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様：   カタログダウンロード


▋アクティブ補償 センサパッケージ 

▍微圧センサパッケージ - アクティブ補償 (デジタルI2C出力 / アナログ 0.5～4.5VDC出力)

 LP2 シリーズ
圧力レンジ：   0.02～1 psi / 0.15～6.89 kPa
チップ種別：   ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償：
   アクティブ補償
動作温度： -40～85℃
精度： デジタル出力 ±1,5 (% FSO)
アナログ出力 ±2.0 ( %FSO)
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±20 (μV/V/℃) @-25～75℃
抵抗値 2000(min)～3000(max) (ppm/℃)) @-25～75℃
感度 -2500(min)～-3000(max) (ppm/℃)) @-25～75℃
長期ドリフト： ±1 (%FS)
保証静的圧力    ＦＳの2.5倍 
耐圧   1000Ｐａ以下 68.9 kPa 
2500Pa以上  344,7 kPa 
検出対象： 非腐食性・乾燥ガス
詳細仕様：   概要カタログダウンロード | 技術カタログダウンロード

▍超低圧センサパッケージ - アクティブ補償 (アナログ出力)

 LP-Analogシリーズ



　　
圧力レンジ：   0.04～15 psi / 0.25～103 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償：
   アクティブ補償
動作温度： -40～85℃
精度： アナログ出力 ±1,5 (% FS)
DAC分解能： 12ビット
長期ドリフト： ±0.5 (%FS)
保証静的圧力：    ＦＳの5倍 
耐圧：  FSの10倍 
検出対象： 非腐食性・乾燥ガス
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍超低圧センサパッケージ - アクティブ補償 (デジタルI2C出力)

 LP-Digitalシリーズ



　　
圧力レンジ：   0.04～15 psi / 0.25～103 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償：
   アクティブ補償
動作温度： -40～85℃
精度： デジタル出力 ±1,5 (% FS)
ＡＤＣ分解能： 13ビット
長期ドリフト： ±0.5 (%FS)
保証静的圧力：    ＦＳの5倍 
耐圧：  FSの10倍 
検出対象： 非腐食性・乾燥ガス
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍低圧センサパッケージ - アクティブ補償 (デジタルI2C出力 / アナログ 0.5～4.5V出力)

 HTS シリーズ



　　
圧力レンジ：   1～100 psi / 6.89～689 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧
温度・圧力補償：
   アクティブ補償
動作温度： -40～125℃
精度：  スタンダード ±2.5 %FS 
ハイパフォーマンス ±1.0 %FS
ADC分解能： 14ビット
レシオメトリック出力 0.5～4.5V (5V入力時)
精度： ±1.5 %FSO (0～60℃、Vdd = 4.75～5.25V)
保証圧力    ＦＳの2倍 
耐圧   ＦＳの5倍 
検出対象： 空調非腐食性・乾燥ガス
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍低圧センサパッケージ - アクティブ補償 (デジタルI2C出力 / アナログ出力)

 CMS シリーズ



　
圧力レンジ：   2～150 psi / 13.79～1034.2 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、カスタム
温度・圧力補償：
   アクティブ補償
動作温度： -40～85℃
精度：  デジタルモード  ±0.55%FSO '(最大±1.5%FSO) 
アナログモード ±0.8%FSO (最大±2.0%FSO))
圧力分解能：    18ビット 
長期間ドリフト： 0.25～1 %FS
保証静的圧力： FSの2.5倍
耐圧： 206 kPa未満 FSの10倍
206 kPa以上 2068 kPa
検出対象： 非腐食性・乾燥ガス
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍過酷な媒体用センサパッケージ - アクティブ補償

 TVC シリーズ



　
圧力レンジ：   1～300psi / 6.89～2068 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧 
温度・圧力補償： アクティブ補償
動作温度：   -40～150℃ 
精度： スタンダード ±2.5 %FS
ハイパフォーマンス ±1.0 %FS
長期間ドリフト：  ±0.5 %FS 1000hrs @150℃
保証静的圧力： FSの2倍
耐圧：    FSの3倍
検出対象： 空調、ミッションオイル、燃料、非ガスなど反応性のある流体 
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍過酷な媒体用センサパッケージ - アクティブ補償 (デジタルI2C出力、アナログ 0.5～4.5V出力)

 TRVF シリーズ
圧力レンジ：   1～300psi / 6.89～2068 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧 
温度・圧力補償： アクティブ補償
動作温度：   -40～150℃ 
精度： スタンダード ±2.5 %FS (-15～125℃)、±5 %FS (-40～-15℃ / 125～150℃)
ハイパフォーマンス ±1.0 %FS (-15～125℃)、±2 %FS (-40～-25℃ / 125～150℃)
長期間ドリフト：  ±0.8 %FS 1000hrs @150℃
保証静的圧力： FSの2倍
耐圧：    FSの5倍
検出対象： 空調、ミッションオイル、燃料、非ガスなど反応性のある流体 
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍過酷な媒体用センサパッケージ - アクティブ補償 (デジタルI2C出力、アナログ出力)

 TR シリーズ
圧力レンジ：   15～500psi / 103～3447 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧 
温度・圧力補償： アクティブ補償
動作温度：   -40～150℃ 
精度： スタンダード ±2.5 %FS
ハイパフォーマンス ±1.0 %FS
長期間ドリフト：  ±0.5 %FS 1000hrs @150℃
保証静的圧力： FSの2倍
耐圧：    FSの3倍
検出対象： 空調、ミッションオイル、燃料、非ガスなど反応性のある流体 
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍血圧用 圧力センサパッケージ - 室温でパッシブ補償

 BPシリーズ



圧力センサチップ：BPシリーズ
圧力レンジ：   -30～300 mmHg
チップ種別：   ゲージ圧 
温度・圧力補償：   室温でパッシブ補償
動作温度： 15～40 ℃
動作湿度：   10～90 %RT
オフセット： ±25 mmHg @無負荷
感度：  4.95～5.05 µV/V/mmHg
校正： 97.5～102.5 mmHg
温度係数： ゼロポイント ±0.3 mmHg/℃
感度 ±0.1 %/℃
精度：   -30～0 mｍＨｇ 読み値 -1 mmHg の1% ～ 読み値 1 mmHg の1%
0～50 mmHg 読み値 -1 mmHg の1% ～ 読み値 1 mmHg の1%
50～300 mmHg 読み値 の-3% ～ 読み値の 3%
検出対象： 血液 
保証静的圧力： 125 psi (862 kPa)
耐圧：   800 psi (5516 kPa)
詳細仕様：   カタログダウンロード


 BP圧力拡張シリーズ



圧力センサチップ：BPシリーズ
圧力レンジ：   -500～1000 mmHg
チップ種別：   ゲージ圧 
温度・圧力補償：   室温でパッシブ補償
動作温度： 15～40 ℃
動作湿度：   10～90 %RT
オフセット： ±25 mmHg @無負荷
感度：  4.95～5.05 µV/V/mmHg
校正： 97.5～102.5 mmHg
温度係数： ゼロポイント ±0.3 mmHg/℃
感度 ±0.1 %/℃
精度：        -500 mmHg ±35 mmHg
-250 mmHg ±12.5 mmHg
-50 mmHg ±2.5 mmHg
-30 mmHg ±1.3 mmHg
0 mmHg ±1 mmHg
50 mmHg ±1.5 mmHg
300 mmHg ±9 mmHg
1000 mmHg ±30 mmHg
検出対象： 血液 
保証静的圧力： 125 psi (862 kPa)
耐圧：   800 psi (5516 kPa)
詳細仕様：   カタログダウンロード


 BP+T シリーズ



　　
圧力レンジ：   -500～1000 mmHg
チップ種別：   ゲージ圧 
温度・圧力補償：   室温でパッシブ補償
動作温度： 0～50 ℃
動作湿度：   10～90 %RT
オフセット： ±25 mmHg @無負荷
感度：  4.95～5.05 µV/V/mmHg
校正： 97.5～102.5 mmHg
温度係数： ゼロポイント ±0.3 mmHg/℃
感度 ±0.1 %/℃
精度：        -500～250 mmHg 読み値 +10 mmHg の9%
-250～-50 mmHg 読み値 の5%
-50～-30 mmHg 読み値 +0.5 mmHg の6%
-30～0 mmHg 読み値 -1 mmHg の1%
0～50 mmHg 読み値 -1 mmHg の1%
50～300 mmHg 読み値の -3%
300～1000 mmHg 読み値の -3%
検出対象： 血液 
保証静的圧力： 125 psi (862 kPa)
耐圧：   800 psi (5516 kPa)
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍メディカル用 圧力センサパッケージ - 室温でパッシブ補償

 APシリーズ
圧力レンジ：   -15～1000 psi / -1～68.9 kPa
チップ種別：   ゲージ,圧、負圧 
温度・圧力補償：   室温でパッシブ補償
動作温度： 10～40 ℃
精度：   ±2 %FSO
検出対象： 血液 
耐圧： FSの3倍
6895 kPa 10.3 MPa
詳細仕様：   カタログダウンロード

▉非補償タイプ 圧力センサパッケージ

▍微小差圧用 圧力センサパッケージ - 非補償

 LP非補償シリーズ

　[微差圧]

　　
圧力レンジ：   0.15～1psi / 1.03～6.89 kPa
チップ種別：   差圧 
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 mV/V @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.25 %FSO @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性：  ゼロポイント ±20 μV/V/℃ @-25～75℃
抵抗値 2000(min)～3000(max) ppm/℃ @-25～75℃
感度[1.03 kPa] -2500(min)～-3500(max) ppm/℃ @-25～75℃
感度[1.4-103 kPa] -2000(min)～-3000(max) ppm/℃ @-25～75℃
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
長期間安定性： ±0.25 %FSO @125℃
保証静的圧力：   FSの5倍
耐圧：   68.9 kPa 
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍低圧・絶対圧用 圧力センサパッケージ - 非補償

 LP非補償シリーズ

　[低圧・絶対圧]

　　
圧力レンジ：   5 psi と 30 psi / 34.5 kPa と 206.8 kPa
チップ種別：   絶対圧 
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 mV/V @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.25 %FSO @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性：  ゼロポイント ±20 μV/V/℃ @-40～85℃
抵抗値 2500(min)～3500(max) ppm/℃ @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) ppm/℃ @-40～85℃
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
長期間安定性： ±0.1 %FSO @125℃
耐圧：   ＦＳの10倍 
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍中圧・圧力センサパッケージ - 非補償、ポリカーボネート ポート

 RPD シリーズ



　　
圧力レンジ：   5～500 psi / 34.5～3447 kPa
チップ種別：   ゲージ圧 
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 mV/V @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2 %FSO @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性：  ゼロポイント ±25 μV/V/℃ @-40～85℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) ppm/℃ @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) ppm/℃ @-40～85℃
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
温度ヒステリシス：   ±0.1 %FSO
耐圧：   ＦＳの2倍 
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍中圧・圧力センサパッケージ - 非補償、表面実装タイプ

 MS シリーズ



　　
圧力レンジ：   5～500 psi / 34.5～3447 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、真空 
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 mV/V @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2 %FSO @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性：  ゼロポイント ±25 μV/V/℃ @-40～85℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) ppm/℃ @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) ppm/℃ @-40～85℃
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
温度ヒステリシス：   ±0.1 %FSO
耐圧：   ＦＳの2倍 
詳細仕様：   カタログダウンロード


 SMD シリーズ



　
圧力レンジ：   5～500psi / 34.5～3,447kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～85℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
温度ヒステリシス： ±0.2 (%FSO) @無負荷
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
耐圧：   FSの2倍
詳細仕様：   カタログダウンロード


 RS シリーズ



　
圧力レンジ：   0～500psi / 0～3,447kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧 
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～85℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
温度ヒステリシス： ±0.2 (%FSO) @無負荷
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
耐圧： FSの2倍
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍低圧・圧力センサパッケージ - 非補償、スルーホール

 PMD シリーズ



圧力センサチップ：PMDシリーズ
圧力レンジ：   5～60psi / 34.5～414 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧 
動作温度： -40～125℃
オフセット： ±10 mV/V @無負荷, 25℃
非線形性：   標準 ±0.15 %FSO @25℃
345 kPa時のみ ±0.15  %FSO @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～85℃
抵抗値 2500(min)～3500(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
温度ヒステリシス： ±0.1 %FSO @無負荷
長期安定性： ±0.1 %FSO
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
耐圧：   FSの5倍
詳細仕様：   カタログダウンロード

▍過酷媒体用・圧力センサパッケージ - 非補償

 RSH シリーズ



　
圧力レンジ：   0～500 psi / 0～3447 kPa
チップ種別：   絶対津、ゲージ圧 
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mmHg) @無負荷
非線形性：   ±0.2 %FS @25℃
ヒステリシス：  ±0.1 %FS @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 µV/V/℃ @－40～85℃
抵抗  2300～3300 ppm/℃ @－40～85℃
感度 -1500～-2500 ppm/℃ @-40～85℃
温度ヒステリシス ±0.2 %FSO ＠無負荷
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス
耐圧：  標準 FSの5倍
3447ｋＰａ時 10.342 MPa 
詳細仕様： カタログダウンロード

▍トランスデューサ - メディカル用

 MSS100



　
圧力レンジ：   5～100psi / 35～700 kPa
チップ種別：   錬成圧、真空、絶対圧、ゲージ圧 
動作温度： 0～70℃
出力レンジ： 10～90 %Vs
分解能：  ～0.02 %FS
精度： -1.0～1.0 %FS
長期ドリフト： ±0.5 (%FS)
保証静的圧力： FSの2倍
耐圧：   FSの3倍 
　詳細仕様： カタログダウンロード
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